由于空间模拟装置其被抽容器的容积从几千立方米到几万立方米，真空度变化从几万Pa 到几个Pa,而且被抽气体中含有大量的水蒸气或部分氮氧化物，所以这种真空系统首先遇到问题就是预抽真空问题，如果选用传统的滑阀泵作前级泵则存在下列问题：

　　首先是滑阀泵在高入口压力下长时间运行，由于气流携带作用，其喷油现象十分严重，一是浪费大量昂贵的油，二是污染环境；其次，由于被抽气体中含有大量的水蒸气或氮氧化物，这些气体一旦进入泵内会使真空泵油迅速乳化变质，油的密封性破坏，导致真空性能下降，甚至使泵毁坏；第三，需要配置泵的数量多，而且滑阀泵的振动、噪声也大 .

　　螺杆真空泵由于具有清洁无油、抽速大、振动小、噪声低等优点，已成为当前大型空间模拟真空系统的选择产品。另外，为了提高真空机组的抽速和真空并相应的减小螺杆泵的尺寸，一般都是采用一台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的二级机组或二台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的三级机组。为防止颗粒杂质进入泵内，在真空机组入口均配置入口过滤器，其精度为50μm。

小编：Qian